ZnO压敏薄膜晶界效应研究

来源 :第11届全国固体薄膜会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:SCY512355337
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对GDARE法制备的ZnO薄膜样品进行不同热处理时间的压敏特性、交流阻抗谱测试,结果表明不同的热处理时间对薄膜的I-V非线性特性有重要影响,热处理时间延长,薄膜晶界电阻不断下降.文章讨论了薄膜晶界处吸附气体电荷浓度对晶界处形成的势垒高度的影响.建立不同热处理时间下ZnO压敏薄膜晶界势垒模型,得出热处理时间对ZnO薄膜晶界效应的影响机理.
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本文用热丝化学气相沉积方法以si(100)为衬底制备了不同掺硼浓度的高掺硼金刚石薄膜.用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱(Raman)对薄膜进行了检测.扫描电子显微镜观察了不同掺硼浓度对薄膜表面形貌的影响.拉曼光谱分析了金刚石一阶拉曼特征峰1332cm-1随着掺硼浓度的变化以及运用峰位的漂移计算薄膜的内应力.同时还分析了金刚石薄膜拉曼光谱中500cm-1和1220cm-1附近的宽峰随掺硼浓度的变
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采用真空熟蒸发法在玻璃基片上分别蒸镀一层SnS薄膜和一层Ag薄膜,在300℃的真空炉中退火2h后,制备出SnS:Ag薄膜.通过改变银的蒸发电压(60V~70V),以实现不同掺杂浓度的SnS:Ag薄膜.采用XRD对制备的薄膜进行物相分析,结果表明,所制得的薄膜是具有正交结构的SnS多晶薄膜,在(111)晶面上有很强的择优取向,且当银的蒸发电压提高时,薄膜中会出现Ag2S的衍射峰.光电性能研究表明,室