【摘 要】
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利用改进型闭合场孪生非平衡中频磁控系统在基体温度低于100℃的条件下沉积了Ti掺杂类金刚石纳米复合涂层.研究了不同偏压和Ti靶电流对涂层的结构,摩擦磨损性能和抗水蚀性能
【机 构】
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武汉大学物理科学与技术学院加速器实验室,湖北,武汉,430072
【出 处】
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2006全国荷电粒子源、粒子束学术会议
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利用改进型闭合场孪生非平衡中频磁控系统在基体温度低于100℃的条件下沉积了Ti掺杂类金刚石纳米复合涂层.研究了不同偏压和Ti靶电流对涂层的结构,摩擦磨损性能和抗水蚀性能的影响,结果表明在100V偏压,Ti靶电流4A时制得的Ti-DLC复合涂层有良好的附着力和很高的硬度,优良的摩擦磨损性能和抗水蚀性.
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