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应力匀散相关论文
微压传感器中的抗过载技术研究
微压传感顺在实际使用过程中的抗过载强度是一个很重要的参数。该文对微压传感器的过压失效进行分析和研究,提出硅膜应力匀散和双层......
会议
微压传感器
抗过载
应力匀散
满量程
新结构
传感顺
失效
过压
硅膜
参数
抗高过载微压传感器
在提高微压传感器灵敏度的研究过程中 ,会遇到非线性和稳定性变差、过载能力不够以及静电封接时背岛与玻璃粘接造成器件失效等现象......
期刊
微压传感器
过载能力
非线性
灵敏度
无掩模腐蚀
应力匀散
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