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电子特种气体是整个电子工业体系的核心关键原材料，一些关键电子特种气体产品(如高纯磷烷和砷烷)受发达国家的技术封锁或实施禁运措施。
中国电子特种气体,机遇与危机并存
【摘 要】
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电子特种气体是整个电子工业体系的核心关键原材料，一些关键电子特种气体产品(如高纯磷烷和砷烷)受发达国家的技术封锁或实施禁运措施。
【机 构】
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气体圈子
【出 处】
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2018中国集成电路产业发展研讨会暨第21届中国集成电路制造年会
【发表日期】
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2018年9期
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