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该文论述了采用光刻工艺技术研究液体火箭发射机关关键部件－－层板式喷注器的概况，并介绍了光刻工艺过程和研究成果以及该成果所达到的工艺技术水平。
层板式喷注器光刻工艺研究
【摘 要】
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该文论述了采用光刻工艺技术研究液体火箭发射机关关键部件－－层板式喷注器的概况，并介绍了光刻工艺过程和研究成果以及该成果所达到的工艺技术水平。
【机 构】
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航空工业总公司第十一研究所
【出 处】
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中国兵工学会1999年特种加工学术交流会
【发表日期】
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1999年10期
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