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采用化学热喷涂法制作半导体(SnO<,2>)薄膜电热元件,对不同衬底(石英和玻璃)的二元薄膜材料和掺杂的六元薄膜材料测其电阻随温度变化的曲线,证实了以石英为衬底的二元薄膜材料有更稳定的性能,且电阻也低,合理掺杂其稳定性更好;测量了薄膜材料随温度的升高及其变形情况,为以后热应力的量化提供了可能.