【摘 要】
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CCD芯片的量子效率表示在曝光时间内到达像素光敏面的光子转换为电子的百分比，与器件的几何结构、材料等有关，是评价CCD芯片性能的最主要因素之一。因此，根据EMVA1288标准设
【机 构】
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西安电子科技大学 技术物理学院,西安 710071
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CCD芯片的量子效率表示在曝光时间内到达像素光敏面的光子转换为电子的百分比，与器件的几何结构、材料等有关，是评价CCD芯片性能的最主要因素之一。因此，根据EMVA1288标准设计了一套CCD芯片量子效率的测量装置，并且阐述了其测量方法，解决了单色光生成以及对于不同CCD测量时的兼容性问题。经过反复论证，该测量装置和方法具有通用性强、高精度和高稳定度等优点。
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