DKDP晶体的单点金刚石飞切工艺研究

来源 :上海市激光学会2015年学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ilove19830517

【摘要】

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单点金刚石飞切是较为成熟的DKDP(高掺氘磷酸二氢钾)晶体加工方法.本文在进口卧式金刚钻切削车床上研究了DKDP晶体的加工工艺,重点关注晶体面形误差、表面粗糙度,实现晶体表

【作者】

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刘连亮徐敏李旭峰

【机构】

：

上海超精密光学制造工程技术研究中心,复旦大学,上海200438

【出处】

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上海市激光学会2015年学术年会

【发表日期】

：

2015年期

【关键词】

：

DKDP晶体金刚石磷酸二氢钾高精度控制超光滑表面表面粗糙度面形误差加工工艺

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单点金刚石飞切是较为成熟的DKDP(高掺氘磷酸二氢钾)晶体加工方法.本文在进口卧式金刚钻切削车床上研究了DKDP晶体的加工工艺,重点关注晶体面形误差、表面粗糙度,实现晶体表面质量的高精度控制.经过工装设计与改良、工艺优化,最终在100*100*10mm的晶片上得到了Ra1.788nm,PV0.493入的超光滑表面.

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