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氮流量对Ta-N电阻薄膜结构与电学性质的影响研究

来源 :第十一届全国扫描隧道显微学学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xinlingsvs

【作 者】

：

马扬昭 谢中 周艳明 夏丰金 冯双磊 李科 

【机 构】

：

湖南大学物理与微电子科学学院,长沙410082

【出 处】

：

第十一届全国扫描隧道显微学学术会议

【发表日期】

：

2010年11期

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