Si-NPA上Pt催化Ga和NH3直接反应形成GaN纳米结构生长机理研究

来源 :第十七届全国化合物半导体材料微波器件和光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:JK0803_lichunfeng
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  利用高温管式炉,Pt作为催化剂,金属Ga和氮气直接反应得到了不同形貌的GaN纳米结构。通过研究不同温度和不同氨气压强下GaN纳米结构的形貌,提出其中的纳米线是典型的顶部气-液-固(vLS)生长,而其他纳米结构是在已经成核的GaN晶粒上自催化(SCG)的气-固(VS)生长的结果。GaN纳米纳米锥串则是vLS生长的纳米线侧向VS生长的结果。Pt对GaN纳米线和早期的GaN成核是必需的,但对后期纳米线以外的其他纳米结构的生成并非必需。不同生长条件下vLS和vS机制的相互竞争最终决定了BaN的形貌。
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