用一种新方法生长的截止波长10μm以上的InAsSb单晶

来源 :中国光学学会2004年学术大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tank2203555
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我们用一种新的晶体生长方法-熔体外延,在液相外延系统中,在(100)InAs衬底上生长出了室温截止波长11μm的InAsSb单晶。这是国内第一次生长出波长10μm以上的InAsSb材料,从而填补了我国长波红外InAsSb材料的空白。熔体外延具有创新的生长工艺,不同于液相外延等常规的晶体生长方法。傅立叶变换红外透过光谱证明InAsSb材料的室温截止波长超过10μm。X射线衍射光谱揭示InAsSb外延层具有相当完美的晶体取向结构,且与InAs衬底取向一致,均为(100)方向,此表明外延层为单晶。霍尔测量的结果如下:295K 下,InAsSb的电子迁移率为4.75 x 104 cm2/Vs,载流子浓度为3.61 x 1016 cm-3;77K下,电子迁移率为2.86x104cm2/Vs, 载流子浓度为1.50 x 1016 cm-3, 显示了研制新型探测器的良好前景。
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