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本文介绍了永磁微波离子源和低能注入器(LEBT)关键部件的研究进展.目前,2.45GHz永磁微波离子源在平均微波功率500W、引出电压45kV及等离子体电极发射孔径5mm的条件下,对于脉冲模式,峰值流强可达100mA,束流密度500mA/cm2质子比可达80%,归一化均方根发射度0.1πmm.mrad.给出了LEBT的关键部件-螺管透镜加铁磁回路后磁场增强的经验公式和利用鼠笼式外壳代替圆筒外壳的实验结果.