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介绍了以P型单晶硅为基片，聚酰亚胺为湿敏介质，钼和铝为电极材料的平行板电容式湿度传感元件的湿敏静态特性要求和湿敏静态特性测试系统，测试了感湿元件的静态湿敏特性，对测试结果进行了分析，此外，利用数值模拟对感湿元件的湿容特性进行了模拟。结果表明，本文测试的感湿元件的静态湿敏特性满足课题要求；测试方法和系统设计合理；利用数值方法进行感湿元件的研究室可行的。