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本论文系统的介绍了利用常压汽相沉积(CVD)技术在线制各Sb掺杂SnO2低辐射薄膜的研究,结果表明用在线CVD法可以有效的实现在SnO2中掺杂Sb,并可以制各出光电性能优良的SnO2低辐射薄膜.
在线CVD法制备Sb掺杂SnO2低辐射薄膜的研究
【摘 要】
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本论文系统的介绍了利用常压汽相沉积(CVD)技术在线制各Sb掺杂SnO2低辐射薄膜的研究,结果表明用在线CVD法可以有效的实现在SnO2中掺杂Sb,并可以制各出光电性能优良的SnO2低辐
【机 构】
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中国凯盛国际工程有限公司,上海,200063
【出 处】
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全国第六届浮法玻璃及深加工玻璃技术研讨会
【发表日期】
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2006年期
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