【摘 要】
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采用发射光谱仪分析不同气体组分的PS-PVD射流,通过Abel转换得出射流径向各点处的光谱强度,比较和分析射流中不同气体的成分分布。采用多谱线斜率法研究不同气体组分的射流在径向距离上电子温度的变化,通过Hβ谱线的stark展宽研究各气体组分在径向上的电子密度分布。结果 表明：在总气体流量不变的条件下,加入的H2和He气使得Ar的谱线强度降低；加入He后,Ar在焰流中心处浓度降低并在一定范围内随着径
【机 构】
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中南大学材料科学与工程学院,长沙 410000 广东省新材料研究所,现代材料表面工程技术国家工程实
【出 处】
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第十一届全国表面工程大会暨第八届全国青年表面工程学术会议
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采用发射光谱仪分析不同气体组分的PS-PVD射流,通过Abel转换得出射流径向各点处的光谱强度,比较和分析射流中不同气体的成分分布。采用多谱线斜率法研究不同气体组分的射流在径向距离上电子温度的变化,通过Hβ谱线的stark展宽研究各气体组分在径向上的电子密度分布。结果 表明：在总气体流量不变的条件下,加入的H2和He气使得Ar的谱线强度降低；加入He后,Ar在焰流中心处浓度降低并在一定范围内随着径向距离的增加而增加,He往中心区域聚集；Ar/H2气体中,H2主要分布在焰流中心及中心靠外的区域,并在中心靠外的区域含量较高；不同气体组分的电子温度都随着径向距离的增加而降低,而Ar/He/H2表现为先降后升；Ar/H2和Ar/He/H2两种气体的电子密度与径向距离成反比,同时受到H2和He含量分布的影响。
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