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采用差压式电容薄膜规定容法,通过测量压强差的变化减小环境温度波动的影响,实现了正压漏孔校准.该套装置校准范围为1×10<-5>～3×10<-6>Pa·m<3>/s,不确定度相应为5℅～15℅(置信度95℅),校准时间约为30分钟,实现数据的自动采集和处理,系统重复性好,并可以用于真空漏孔漏率的校准.