金属基非晶金刚石薄膜场发射特性研究

来源 :第一届高能电子学学术交流会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:guyunlong0811
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该文采用微波等离子体方法在无氧铜基片上沉积了非晶金刚石薄膜,发现在铜片上沉积未成膜金刚石颗粒的具有更低的开启电压和较高的发射电流密度,在自制场致发射阵列阴极高真空测试台上测试到的发射电流〉2.08mA,发射电流密度〉100mA/cm<2>,在发射电流为10μA时的开启电场仅仅只有2Vμm,相应的有效功函数≈0.025eV。
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