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介绍了分子泵的起源、发展与现状；对分子泵与油扩散泵的技术参数作了比对，指出分子泵的工作性能和技术指标有了质的飞跃。分子泵在电光源行业设备制造中具有不可或缺的重要作用。分子泵节能、环保、高效、油污染少且具有超高极限真空度，是今后电光源行业设备制造中替代油扩散泵实现节能降耗的重要措施。
分子泵超高真空设备与电光源设备
【摘 要】
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介绍了分子泵的起源、发展与现状；对分子泵与油扩散泵的技术参数作了比对，指出分子泵的工作性能和技术指标有了质的飞跃。分子泵在电光源行业设备制造中具有不可或缺的重要作用
【机 构】
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中国科学院科仪公司
【出 处】
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2008年全国电光源设备科技研讨会
【发表日期】
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2008年期
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