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本文采用溶胶凝胶法制备聚乙烯吡咯烷酮(PVP)修饰的氧化锌量子点，通过控制PVP的量得到不同粒度的氧化锌量子点，并通过旋涂法将氧化锌溶胶旋涂到硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)上，得到ZnO﹫PvP/Si-NPA纳米复合薄膜湿敏传感器。当环境相对湿度从11％上升到95％时，采用不同信号频率进行测试，湿敏元件的电容增加值分别为起始值的几十倍到几千倍不等，显示出湿敏元件较高的湿度灵敏性和较强的绝对电容输出信号强度。在升湿的过程中，其响应时间都在lOs左右，展示出较快的响应速度。