【摘 要】
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静电驱动的微/纳米梁谐振器在质量、生物化学传感，信号滤波和无线传输等领域因其卓越的性能越来越受到人们的关注。一方面由于它们结构简单易于设计优化，另一方面更重要的是其具有超高的灵敏度和分辨率、低功耗等良好的特性，在微/纳机械系统(MEMS/NEMS)的研究中始终扮演着重要角色。当前人们研究的谐振器的工作频率已达到GHz甚至更高，但研究发现工作在高频段的谐振器具有非常明显的非线性行为。本文从实验上详细
【机 构】
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东南大学MEMS教育部重点实验室，南京，210096
【出 处】
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中国微米纳米技术学会第十一届学术年会
论文部分内容阅读
静电驱动的微/纳米梁谐振器在质量、生物化学传感，信号滤波和无线传输等领域因其卓越的性能越来越受到人们的关注。一方面由于它们结构简单易于设计优化，另一方面更重要的是其具有超高的灵敏度和分辨率、低功耗等良好的特性，在微/纳机械系统(MEMS/NEMS)的研究中始终扮演着重要角色。当前人们研究的谐振器的工作频率已达到GHz甚至更高，但研究发现工作在高频段的谐振器具有非常明显的非线性行为。本文从实验上详细分析了静电驱动的亚微米悬臂梁的非线性频率响应特性(“弹簧变软”)，最后引入了一个非线性模型很好地解释了实验中观察到的频率偏移特性并作了进一步的分析和讨论。
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