【摘 要】
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研究了基于FabryPerot(FP)腔干涉光纤瓦斯传感系统。利用MEMS技术在硅片上制作含笼形分子A 的聚合物，然后与光纤端面构成FP腔。基于笼形分子A 的聚合物对瓦斯吸收和敏感的特性，通过分析干涉波长峰值的变化，获得浓度与波长的关系。从理论上分析了传感机理和通过瓦斯传感实验评价传感性能，以瓦斯气体样品验证其有效性。测量并对数据分析处理，解调出包含在干涉信号中的信息。实验结果表明：该传感器具
【机 构】
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河南科技大学物理与工程学院,洛阳市光电功能材料重点实验室,河南洛阳471003 南京师范大学物理科
【出 处】
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第四届全国信息光学与光子器件学术会议
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研究了基于FabryPerot(FP)腔干涉光纤瓦斯传感系统。利用MEMS技术在硅片上制作含笼形分子A 的聚合物，然后与光纤端面构成FP腔。基于笼形分子A 的聚合物对瓦斯吸收和敏感的特性，通过分析干涉波长峰值的变化，获得浓度与波长的关系。从理论上分析了传感机理和通过瓦斯传感实验评价传感性能，以瓦斯气体样品验证其有效性。测量并对数据分析处理，解调出包含在干涉信号中的信息。实验结果表明：该传感器具有高的灵敏度和可靠性，并且该传感器具有较快的响应时间。
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