透明背电极碲化镉薄膜太阳电池制备与表征

来源 :第13届中国光伏大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qqllql
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使用直流磁控溅射制备技术制备ITO薄膜,研究了气压、功率、氧分压等工艺参量对ITO薄膜结构、光、电性质的影响.使用ITO薄膜作为前电极、背电极,制备出“玻璃/ITO/CdS/CdTe/ZnTe:Cu/ITO”结构的电池,测量了器件的光、暗IV特性和CV特性,并与“玻璃/ITO/CdS/CdTe/ZnTe:Cu/Au”结构电池进行了比较研.结果表明:对800-2000nm波段光,ITO薄膜背电极电池透过率最高可达35%.比较研究Au、低阻ITO、高阻ITO分别为背电极的电池,批次平均效率分别为8.6%、8.4%、7.4%,最高效率分别为9.9%、9.6%、8.9%.
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