Er掺杂硅基Y2O3纳米薄膜MOS结构电致发光器件

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<正>Er3+离子掺杂的氧化物由于在红外1530 nm的光纤通讯波段具有广泛的应用前景而备受关注。Y2O3在红外波段的折射率高至1.9,光波导损耗低至1-1.5d B/cm,可用来制作硅基波导光放大器。Er和Y同属稀土元素,具有相似的离子半径和化学性质,Er2O3可在Y2O3中以任意比例互溶,从而获得高含量的具有发光活性的Er3+离子。目前关于Er掺杂Y2O3材料的研究主要集中于光致发光(PL)
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