【摘 要】
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近年来,低成本和高效率的多晶硅已经成为最主要光伏材料之一。本文从太阳能电池制备工艺角度出发,综述了国内外近年来关于对铸造多晶硅杂质和缺陷处理方面的工艺研究进展。分
【机 构】
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制造部 常州天合光能有限公司,江苏省常州市新北区电子产业园天合路,213031
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近年来,低成本和高效率的多晶硅已经成为最主要光伏材料之一。本文从太阳能电池制备工艺角度出发,综述了国内外近年来关于对铸造多晶硅杂质和缺陷处理方面的工艺研究进展。分析比较了各种处理工艺,包括磷吸杂,铝吸杂,磷铝共吸杂,和多孔硅吸杂,对杂质吸除效果、少子寿命的影响。也分析了钝化和热处理工艺对多晶硅材料性能的影响。综合考虑成本要求和除杂效果,高温P-Al联合吸杂以及多孔硅吸杂是较好的选择。它们可能在未来的铸造多晶硅除杂工艺领域中占据重要地位。
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