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球形二氧化硅微粉制备新技术及应用研究
球形二氧化硅微粉制备新技术及应用研究
来源 :2006中国玻璃行业年会暨技术研讨会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ebear2009
【摘 要】
:
以高频等离子体固相法制备球形硅微粉较之火焰法、化学法、等工艺具有无污染、效率高、流程短、易于控制等特点,代表了当今高新技术的发展方向.高纯、超细球形硅微粉是制约我
【作 者】
:
邱富仁
【机 构】
:
江苏省连云港市晶瑞石英工业开发研究院,连云港市,222004
【出 处】
:
2006中国玻璃行业年会暨技术研讨会
【发表日期】
:
2006年9期
【关键词】
:
二氧化硅
等离子体固相法
制备工艺
球形硅微粉
产业化
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以高频等离子体固相法制备球形硅微粉较之火焰法、化学法、等工艺具有无污染、效率高、流程短、易于控制等特点,代表了当今高新技术的发展方向.高纯、超细球形硅微粉是制约我国21世纪微电子及高新技术产业发展的瓶颈,目前全部依赖进口,对其产业化和应用研究刻不容缓.
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