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会议论文
电化学在微型机电系统中的应用
电化学在微型机电系统中的应用
来源 :第四届全国微米/纳米技术学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:gaboo
【摘 要】
:
通过列举电化学在微型机电系统中的应用,表明电化学在MEMS的微加工、微型电源和许多基础问题方面皆大有可为,同时微系统的兴起也为电化学提供新的发展机遇.
【作 者】
:
田中群
孙建军
黄海苟
程旋
蒋利民
田昭武
【机 构】
:
厦门大学 固体表面物理化学国家重点实验室,化学系(厦门)
【出 处】
:
第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
:
2000年期
【关键词】
:
电化学
微型机电系统
微型电源
基础问题
微系统
微加工
应用
机遇
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通过列举电化学在微型机电系统中的应用,表明电化学在MEMS的微加工、微型电源和许多基础问题方面皆大有可为,同时微系统的兴起也为电化学提供新的发展机遇.
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