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本文分析了热偶真空计在测量0.1Pa压力时所受的影响，重点分析了温度的影响，指出了热偶规校准温度与使用温度不同时，精确测量到0.1Pa时存在的误差，为实际工作中热偶计测量0.1Pa压力提供了借鉴。
热偶计测量0.1Pa压力与温度关系初探
【摘 要】
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本文分析了热偶真空计在测量0.1Pa压力时所受的影响，重点分析了温度的影响，指出了热偶规校准温度与使用温度不同时，精确测量到0.1Pa时存在的误差，为实际工作中热偶计测量0.1Pa压
【机 构】
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首都航天机械公司,北京 100076
【出 处】
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第十五届全国质谱分析与检漏会议暨第十届全国真空计量测试年会
【发表日期】
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2009年期
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