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射频(Radio Frequency,RF)微机电系统(Micro-Electro Mechanical Systems)RF MEMS领域中,RF MEMS开关是最重要的研究方向之一.相比于传统的半导体开关,RF MEMS开关具有低插入损耗、高隔离度等优点.不过由于机械运动的存在，RF MEMS开关容易因可动结构的断裂而失效，若为提高寿命而采取低刚度结构的设计，又容易造成粘附而失效，降低可靠性。由于RF MEMS开关的机械可靠性主要取决于可动结构的材料疲劳寿命，本项目拟采用减振合金材料来降低机械运动对RF MEMS开关器件中可动结构的不良影响。本项目研究新型锰铜系减振合金薄膜材料，利用其衰减系数大、共振曲线扁平、疲劳寿命长等材料特性来延长开关可动结构的寿命，并探索其在RF MEMS开关器件中的应用。