【摘 要】
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本项目以开发高灵敏度、高选择性、对多组份气体具有良好检测功能的微纳气体传感器为目标,提出利用微流控技术在衬底表面可控制备纯净/贵金属掺杂的ZnO纳米线阵列气敏材料的
【出 处】
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第十二届设计与制造前沿国际会议(ICFDM2016)
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本项目以开发高灵敏度、高选择性、对多组份气体具有良好检测功能的微纳气体传感器为目标,提出利用微流控技术在衬底表面可控制备纯净/贵金属掺杂的ZnO纳米线阵列气敏材料的技术方案,并在此基础上借助MEMS设计和制造工艺,实现微纳气体传感器结构的最优设计与微型化制造,提高传感器对多组份气体的检测灵敏度与稳定性,为开发具有混合气体检测功能的微纳气体传感器奠定理论和技术基础.
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