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该文讨论一种平面叉指式加速度计的结构设计、有限元仿真、加工工艺，着重研究了压膜阻尼的一种数学简化模型，并对叉指结构进行了数值计算。研究了摆片尺寸、极板间隙以及频率和外界环境压力对阻尼的影响。给出了在当前工艺条件下进一步优化设计、减小阻尼的方法。同时，该文给出原理样机的实验结果，已达到的性能指标。