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微型电容加速度传感器的设计与研制
微型电容加速度传感器的设计与研制
来源 :第四届全国敏感元件与传感器学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:silversandcgliu
【摘 要】
:
该文提出了一种新型微型电容加速度传感器设计,讨论了器件的具体制作工艺,并对所制样品器件进行了性能测试,测试结果表明,这种器件结构可以消除横向效应,具有较高的灵敏度、较低的
【作 者】
:
马青华
苗风海
【机 构】
:
大学
【出 处】
:
第四届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
:
1995年期
【关键词】
:
微型
电容
加速度传感器
器件结构
制作工艺
性能测试
横向效应
测试结果
稳定性
灵敏度
非线性
样品
设计
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该文提出了一种新型微型电容加速度传感器设计,讨论了器件的具体制作工艺,并对所制样品器件进行了性能测试,测试结果表明,这种器件结构可以消除横向效应,具有较高的灵敏度、较低的非线性和良好的稳定性。
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