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利用扫描电子显微镜(SEM)对MEMS器件关键工艺的微观形态进行测试、分析,实现SEM对MEMS的有效测量和工艺验证。
利用扫描电子显微镜实现MEMS微观形态测试
【摘 要】
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利用扫描电子显微镜(SEM)对MEMS器件关键工艺的微观形态进行测试、分析,实现SEM对MEMS的有效测量和工艺验证。
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900
【出 处】
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四川省电子学会电子测量与仪器专委会第十四届学术年会
【发表日期】
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2009年10期
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