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硅/锗/硅键合新技术的研究
硅/锗/硅键合新技术的研究
来源 :1998年全国半导体硅材料学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zxcfs
【摘 要】
:
该文分析了研究了亲水键合法存在的问题,发明了硅/锗/硅合新方法。试验研究了新方法的机理、键合工艺技术和键合强度,键合率以及与亲水键合方法的对比。
【作 者】
:
刘玉岭
张文智
徐晓辉
张德臣
张志花
【机 构】
:
工业大学微电子研究所
【出 处】
:
1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
:
1998年期
【关键词】
:
键合强度
新方法
试验研究
工艺技术
键合法
机理
发明
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该文分析了研究了亲水键合法存在的问题,发明了硅/锗/硅合新方法。试验研究了新方法的机理、键合工艺技术和键合强度,键合率以及与亲水键合方法的对比。
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