【摘 要】
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面向心肌梗死等重大疾病的早期、快速、高灵敏度、高特异性临床检测需求,我们采用Top-down 微纳器件加工与湿法腐蚀相结合方法,在6英寸SOI晶片上制作出数以百计的宽
【机 构】
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中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
【出 处】
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第七届中国科学院“百人学者论坛”学术年会
论文部分内容阅读
面向心肌梗死等重大疾病的早期、快速、高灵敏度、高特异性临床检测需求,我们采用Top-down 微纳器件加工与湿法腐蚀相结合方法,在6英寸SOI晶片上制作出数以百计的宽度、高度、长度严格可控的Si 纳米线场效应晶体管(FET),进一步对纳米线表面修饰并结合心肌梗死“金标准”生物标志物—心肌肌钙蛋白(cTnI)单抗,FET器件显示出卓越的快速电学响应,灵敏度达92ng/mL,较宽线性响应区与高可靠性、高抗干扰性.探讨微纳器件大批量与可重复的可制造性、可靠性与走向临床应用等业界共性的挑战问题.
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