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本文研究了用于微测辐射热计热敏电阻薄膜材料的热敏特性,指出混合相氧化钒多晶薄膜是用作红外探测器热敏电阻的理想材料,并采用一种先进的离子束溅射镀膜工艺在氮化硅薄膜上制备了混合相氧化钒多晶薄膜,测试结果表明:薄膜的方块电阻在25℃为40KΩ,电阻温度系数(TCR)在室温时达到-0.03K<-1>.