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该文叙述了离子束辅助淀积工艺装置、实验过程和结论。以ZnS—MgF[*v2*]薄膜为例，说明了淀积时助以离子轰击的电子来蒸镀工艺对薄膜的某些影响。用Ar[*+*]离子束辅助淀积的ZnS—AgF[*v2*]多层干涉滤光片的波长漂移量大大减小，散射下降。（本刊录）
离子束辅助淀积工艺研究
【摘 要】
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该文叙述了离子束辅助淀积工艺装置、实验过程和结论。以ZnS—MgF[*v2*]薄膜为例，说明了淀积时助以离子轰击的电子来蒸镀工艺对薄膜的某些影响。用Ar[*+*]离子束辅助淀积的ZnS
【机 构】
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航天部八三五八研究所
【出 处】
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中国光学学会85年光学薄膜学术讨论会
【发表日期】
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1985年期
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