【摘 要】
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在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量。提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构
【基金项目】
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国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404220)
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在MEMS器件设计及工艺监控中需要知道所用材料的弹性模量。提出了一种适合MEMS器件加工用的弹性模量测量方法,采用MEMS器件中典型的双支梁结构,并用台阶仪的探针对双支梁结构施加力,同时测得梁的挠度,进而根据弹性理论采用数值方法计算出弹性模量。采用低压化学气相淀积方法制备多晶硅双支梁。应用该方法测量得到多晶硅的弹性模量值为163GPa,残余应力为20.8MPa。
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