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介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理.该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量,减小了驱动和检测间的耦合,有利于获得较大的工作带宽.本文从理论上分析了折叠梁结构参数对力学性能的影响,用ANSYS进行了验证.并在SOI基片制作了陀螺的微机械结构.
电磁驱动电容检测硅微机械陀螺设计
【摘 要】
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介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理.该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量,减小了驱动和检测间的耦合,有利于获得较大的工
【机 构】
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传感技术国家重点实验室,上海微系统与信息技术研究所(中国上海)
【出 处】
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第八届敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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2003年期
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