Bi2Te3薄膜的热壁外延法制备及其微结构表征

来源 :第十九届全国半导体物理学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zzz999z
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自从2009年Bi2Te3被实验证实为三维强拓扑绝缘体材料,其迅速成为研究的热点[1-2].作为一种传统的室温热电材料,Bi2Te3已经得到广泛研究,但制备高质量、体态绝缘的Bi2Te3材料仍是当前研究的热点和难点[3].
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