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电离辐射在MOS结构的SiO<,2>层中建立正陷阱电荷,这些正陷阱电荷在正栅偏压下迅速减少,这是由于正栅压引起硅衬底中的电子向SiO<,2>导注入,从而与陷阱正电荷复合。正栅压退火不仅对N沟MOS结构非常有效,对P沟MOS结构也有一定的影响。该文给正栅压退火的实验结果,并阐明了栅压退火机理。