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该文报告亚微米光刻5倍g线与i线投影光刻物镜的光学制造技术。讨论超高精度要求的球面曲率半径、透镜中心厚度、球面面形与透镜偏心差等各项指标的综合控制技术与检测方法。着重介绍了作者所发展的大口径高精度双胶合透镜的计算机辅助无变形胶合技术。给出了加工检测结果以及镜头的主要性能指标。
亚微米投影光刻物镜光学制造技术
【摘 要】
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该文报告亚微米光刻5倍g线与i线投影光刻物镜的光学制造技术。讨论超高精度要求的球面曲率半径、透镜中心厚度、球面面形与透镜偏心差等各项指标的综合控制技术与检测方法。
【机 构】
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科学院光电技术研究所
【出 处】
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中国光学学会光学制造技术专业委员会首届学术会议
【发表日期】
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1998年5期
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