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该文介绍ＳＩＭＳ分析技术在半导体生产中几个典型的应用实例：１．在材料分析方面的应用一鉴别杂质成份，２．在工艺分析方面的应用－了解工艺情况，３．在解剖分析方面的应用－－获得器件内部组成成份，以此说明ＳＩＭＳ分析技术在半导体生产中的重要性。
SIMS在半导体生产中的应用
【摘 要】
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该文介绍ＳＩＭＳ分析技术在半导体生产中几个典型的应用实例：１．在材料分析方面的应用一鉴别杂质成份，２．在工艺分析方面的应用－了解工艺情况，３．在解剖分析方面的应用－－获得器件内部组成成份，以此说
【机 构】
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华晶电子集团公司技术支援中心理化
【出 处】
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1998二次离子质谱学国际研讨会暨第二届全国二次离子质谱学会议
【发表日期】
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1998年期
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以具有抗根肿病基因CRb的大白菜‘CR Shinkii DH’系为抗源,通过分子标记辅助选择选育出大白菜优良自交系‘BJN3’的9份抗根肿病近等基因系。通过CRb基因侧翼标记TCR01和TCR0