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硅基Ge材料是一种重要的硅基异质结构材料，它既是硅基高迁移率材料，同时也是重要的硅基光子学器件用材料，在硅基光电集成中具有重要的应用前景。本文将介绍硅基Ge材料的外延生长，讨论它的可能应用，重点介绍它在硅基高效发光器件、硅基高速低功耗光调制器、硅基高速长波长光电探测器等方面的应用研究进展。
硅基锗材料的外延生长及其应用
【摘 要】
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硅基Ge材料是一种重要的硅基异质结构材料，它既是硅基高迁移率材料，同时也是重要的硅基光子学器件用材料，在硅基光电集成中具有重要的应用前景。本文将介绍硅基Ge材料的外延生长
【机 构】
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中国科学院半导体所,集成光电子学国家重点实验室,北京 100083
【出 处】
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第十二届全国固体薄膜会议
【发表日期】
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2010年期
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