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MOEMS阵列光开关的研制
MOEMS阵列光开关的研制
来源 :第五届全国光子学大会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:qiqi251305430
【摘 要】
:
设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成的。上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极。下
【作 者】
:
陈维友[1]董玮12[2]张歆东[1]刘彩霞[1]贾翠萍[1]潘建旋[1]孙东明[1]徐宝琨[1]王立军[3]
【出 处】
:
第五届全国光子学大会
【发表日期】
:
2004年期
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设计了一种新型结构的MOEMS阵列光开关,开关由上电极阵列、下电极阵列和准直光纤阵列三部分组成的。上电极阵列利用(110)硅片制作,其中包括反射镜阵列和扭臂驱动结构的上电极。下电极阵列利用偏一定角度的(111)硅片制作。
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