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中子深度分析(neutron depth profiling,NDP)是一种新型的中子无损检测技术,它利用中子束流与真空容器内样品中的某些核素(3He、10B、6Li、7Be、22Na 等)发生反应,所产生的次级粒子在穿行过程中损失初始动能后到达样品表面,通过测量次级粒子的能量分布可以得到样品内相应核素的原子密度和厚度的关系。