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影响磁控溅射制备TiO2薄膜性能的因素研究
【机 构】
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西安工业大学 陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西 西安 710032
【出 处】
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中国真空学会2012学术交流会
【发表日期】
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2012年期
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