非接触性RF MEMS变容器以提高器件可靠性

来源 :第十一届中国国际半导体博览会暨高峰论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dx0746
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报告内容:□RFMEMS射频开关介绍□RFMEMS射频开关在可靠性上的问题□非接触性RFMEMS变容器介绍□非接触性RFMEMS变容器在可靠性上的优势□非接触性RFMEMS变容器在射频微波电路上的应用示范□总结
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