切换导航
文档转换
企业服务
Action
Another action
Something else here
Separated link
One more separated link
vip购买
不 限
期刊论文
硕博论文
会议论文
报 纸
英文论文
全文
主题
作者
摘要
关键词
搜索
您的位置
首页
会议论文
大面积均匀微波等离子体源的研制及其在SOI半导体材料制备工艺中的应用
大面积均匀微波等离子体源的研制及其在SOI半导体材料制备工艺中的应用
来源 :2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liyongdede
【摘 要】
:
SOI(绝缘层上的硅)技术被国际公认为"二十一世纪的微电子技术"本文主要介绍了大面积均匀微波等离子体源的研制及其在SOI半导体材料制备工艺中的应用.
【作 者】
:
陈庆川
许泽金
曾旭初
朱剑豪
【机 构】
:
核工业西南物理研究院
【出 处】
:
2004全国荷电粒子源、粒子束学术会议
【发表日期】
:
2004年期
【关键词】
:
大面积均匀
微波
等离子体源
半导体材料
制备工艺
绝缘层上的硅
微电子技术
二十一世纪
应用
下载到本地 , 更方便阅读
下载此文
赞助VIP
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
SOI(绝缘层上的硅)技术被国际公认为"二十一世纪的微电子技术"本文主要介绍了大面积均匀微波等离子体源的研制及其在SOI半导体材料制备工艺中的应用.
其他文献
行为定向广告并非洪水猛兽
行为定向广告给了用户至上主义者发起舆论攻势的机会,也给了市场营销人员出手反击的理由,除此之外,这场因为行为定向广告而起的舆论喧嚣,并没有太多新意。 过去的几个月内,隐私保护主义者奔走呼号称,互联网这头侵犯个人隐私的洪水猛兽已变本加厉,狡猾的市场营销从业人员在用户毫不知情的情况下窥视着他们在互联网上的一举一动,这让人情何以堪,因此,必须从政府立法、行业自律等方面加以规范与控制。“打击”的目标直
期刊
市场营销人员
保护主义者
侵犯个人隐私
这头
至上主义
营销投资
市场营销
这场
市场营销活动
数据库营销
“地下金融”扫描
进入90年代以来,我国经济形势发生了深刻的变化,随着社会主义市场经济的逐步建立,财政、金融体制改革也日趋深入。可也就是在这改革的大潮中,如民间借贷、集资、帐外存贷、“地下钱
期刊
地下金融
地下钱庄
民间借贷
信贷经营
借贷利率
存贷业务
监管规定
贷款利率
房产抵押
发财梦
摩擦喷射复合高速电沉积n-Al<,2>O<,3>/Ni性能研究
本文主要介绍了采用摩擦喷射纳米复合高速电沉积技术工艺制备了n-AlO /Ni复合镀层,并对此镀层的沉积速度、表面形貌等方面进行了测试.
会议
摩擦喷射
高速电沉积
电沉积技术
纳米复合
工艺制备
复合镀层
沉积速度
表面形貌
测试
山东省政协委员、昌润置业有限公司董事长王兵携全体员工祝贺山东省政协人大十、十一届三次会议隆重召开
济南昌润置业有限公司成立于2005年,现已发展成为集房地产投资、开发、销售、物业服务于一体的大型企业集团公司。昌润置业本着高起点、高标准的经营理念,致力于发展住宅地产
期刊
山东省政协
商业地产
住宅地产
地产经营
房地产投资
王兵
企业集团公司
政协委员
地产品牌
旅游地产
MeV碳及碳团簇离子C<,2><'+>注入PC膜的光吸收谱的研究
本文主要介绍利用MeV碳及碳团簇离子C注入聚碳酸脂(PC)膜,光吸收谱研究表明,离子注入在聚合物近表面产生断键及缺陷,改变了PC的光吸收性质.
会议
团簇离子
光吸收性质
离子注入
聚碳酸脂
光吸收谱
聚合物
近表面
缺陷
断键
山东省水产品出口继续保持良好增势
2011年1~5月份,山东省水产品对外贸易继续保持了良好增长势头,进出口总量105.5万t,总值为28.4亿美元,增长10.4%和20.7%。其中:出口水产品47.7万t,创汇18.5亿美元,增长29.7%和3
期刊
水产品出口
出口水产品
进出口总量
月份
铝合金表面等离子微弧氧化的工艺研究
本文主要研究了微弧氧化的电流密度氧化时间、溶液体系成分以及电解液的PH值等对铝合金表面微弧氧化制备陶瓷膜的影响.
会议
铝合金
表面等离子
微弧氧化
氧化制备
氧化时间
溶液体系
合金表面
电流密度
陶瓷膜
电解液
Al<,2>O<,3>/Al复合涂层对贫铀的保护性能研究
本文主要采用盐雾腐蚀和磨损试验考核,结合SEM/EDS和XRD表征,分析了贫铀表面AlO/Al复合涂层的保护性能,并讨论了贫铀表面涂层的腐蚀和磨损行为.
会议
复合涂层
贫铀
保护
铀表面
盐雾腐蚀
磨损行为
磨损试验
表面涂层
性能
考核
表征
高功率离子束在漂移管中的中性化传输
本文主要介绍了"闪光二号"加速器产生的高功率离子束在漂移管中的传输实验,对比了三种不同条件下的传输情况,分析了中性化措施对离子束传输的影响.
会议
高功率
离子束
漂移管
传输实验
闪光二号
中性化
加速器
措施
朵索校企合作培养物业管理专业人才模式
物业服务业的快速发展以及对高素质管理者的需求,客观上要求各类院校必须对相关专业人才培养模式进行改革。在物业管理专业建设过程中,积极与行业和企业进行合作,探索和实践学院
期刊
school - enterprise cooperation
property management
professionals training model
与本文相关的学术论文