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Sheath Dynamics in Collisional Electronegative Plasma during Ion Implantation
【机 构】
：
Laser and Plasma Research Institute, Shahid Beheshti University, G C., Tehran, 1983963113, Iran
【出 处】
：
The 11th International Workshop on Plasma-Based Ion Implanta
【发表日期】
：
2011年期
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