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UHVCVD系统中3″硅片电阻丝辐射加热装置及其传热物理基础的探讨
【机 构】
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大学
【出 处】
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第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
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1995年期
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研制了电流传感器焊缝高度自动跟踪系统,进行了弧形管板空间曲线焊缝自动焊接实验,并在锅炉封头焊接机中应用,取得了良好的效果。
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